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| column | value |
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| vat | 24202934 |
| 計畫名稱 | 推動半導體製程設備暨零組件躍升計畫 |
| 廠商名稱 | 崇文科技股份有限公司 |
| 地區別 | (16)新竹縣 |
| 產業別 | 22機械設備製造業 |
| 補助項目 | 3DIC 蝕刻電漿源模組研 |
| 補助內容 | 電漿多重物理場數值模擬分析(電磁場、流場)、電漿源螺旋線圈電極設計與製作、偏壓電極設計、電漿特性量測與改善等。 |
| 補助日期(起)(實際) | 2013/1/1 |
| 簽約總金額(元) | 2880000 |
| 簽約金額-廠商自籌款(元) | 900000 |
| 補助日期(迄)(實際) | 2013/11/20 |
| 輔導類別 | 技術輔導 |