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| column | value |
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| vat | 23953628 |
| 計畫名稱 | 推動半導體製程設備暨零組件躍升計畫 |
| 廠商名稱 | 新鶴股份有限公司 |
| 地區別 | (17)新竹市 |
| 產業別 | 22機械設備製造業 |
| 補助項目 | 雙極性靜電吸附晶圓載座模組開發。 |
| 補助內容 | 輔導協助並完成雙極性靜電吸附晶圓載座模組開發，並協助建立分析模擬技術。 |
| 補助日期(起)(實際) | 2013/1/1 |
| 簽約總金額(元) | 2670000 |
| 簽約金額-廠商自籌款(元) | 1010000 |
| 補助日期(迄)(實際) | 2013/11/20 |
| 輔導類別 | 技術輔導 |