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vat | 80630466 |
計畫名稱 | 推動半導體製程設備暨零組件躍升計畫 |
廠商名稱 | 聯毅科技股份有限公司 |
地區別 | (16)新竹縣 |
產業別 | 22機械設備製造業 |
補助項目 | 高精度真空晶圓傳送機械手臂設備開發 |
補助內容 | 開發自行設計製造的高精度真空晶圓手臂 |
補助日期(起)(實際) | 2013/1/1 |
簽約總金額(元) | 3080000 |
簽約金額-廠商自籌款(元) | 1160000 |
補助日期(迄)(實際) | 2013/11/20 |
輔導類別 | 技術輔導 |