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vat 80630466
計畫名稱 推動半導體製程設備暨零組件躍升計畫
廠商名稱 聯毅科技股份有限公司
地區別 (16)新竹縣
產業別 22機械設備製造業
補助項目 高精度真空晶圓傳送機械手臂設備開發
補助內容 開發自行設計製造的高精度真空晶圓手臂
補助日期(起)(實際) 2013/1/1
簽約總金額(元) 3080000
簽約金額-廠商自籌款(元) 1160000
補助日期(迄)(實際) 2013/11/20
輔導類別 技術輔導