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| column | value |
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| vat | 23958525 |
| 計畫名稱 | 推動半導體製程設備暨零組件躍升計畫 |
| 廠商名稱 | 臺禹科機股份有限公司 |
| 地區別 | (31)嘉義縣 |
| 產業別 | 18金屬製品製造業 |
| 補助項目 | 電漿式尾氣處理系統之反應腔體開發 |
| 補助內容 | 反應腔體設計與開發、成品試驗檢測分析 |
| 補助日期(起)(實際) | 2013/1/1 |
| 簽約總金額(元) | 3060000 |
| 簽約金額-廠商自籌款(元) | 950000 |
| 補助日期(迄)(實際) | 2013/11/20 |
| 輔導類別 | 技術輔導 |