vat 計畫名稱 廠商名稱 地區別 產業別 輔導項目 輔導內容 輔導日期(起)(實際) 簽約總金額(元) 簽約金額-廠商自籌款(元) 輔導日期(迄)(實際) 輔導類別
27679496 光電及半導體設備產業發展計畫(1/3) 億力鑫系統科技股份有限公司 (16)新竹縣 機械設備製造業 新式高效率晶圓光阻去除模組開發 光阻高效去除分析、光阻去除藥劑節省設計 2015/01/01 2788000 2062000 2015/11/20 技術輔導