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vat 47087914
計畫名稱 光電及半導體設備產業發展計畫(1/3)
廠商名稱 嵩展科技股份有限公司
地區別 (16)新竹縣
產業別 機械設備製造業
輔導項目 3D IC晶圓級雙晶片同步電鍍模組
輔導內容 開發”3D IC晶圓級雙晶片同步電鍍模組”,包括12吋雙晶片掛具裝置、雙電場均化裝置、雙流場均化裝置、同步電鍍控制系統,並且進行12吋晶圓電鍍驗證。
輔導日期(起)(實際) 2015/03/01
簽約總金額(元) 2032000
簽約金額-廠商自籌款(元) 1648000
輔導日期(迄)(實際) 2015/11/20
輔導類別 技術輔導