1. data.gov.tw
  2. 勞工安全衛生研究季刊
  3. 59771658
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出版年度 88年6月
卷期 第7卷第2期
篇名 半導體晶圓表面清洗技術發展
作者 簡弘民、盧信忠、黃尊祐、蔡春進
網址 http://www.iosh.gov.tw/Upload2/BookMP/200808/shp7_2_7.PDF