1. data.gov.tw
  2. 勞工安全衛生研究季刊
  3. 59771828
column value
出版年度 94年12月
卷期 第13卷第4期
篇名 半導體製程廢氣管路中微粒沉降之實廠研究
作者 林智賢、蔡春進、林宏、張振平
網址 http://www.iosh.gov.tw/Upload2/BookMP/200808/shp13_4_1.pdf