1. data.gov.tw
  2. 勞工安全衛生研究季刊
  3. 59771880
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出版年度 95年6月
卷期 第14卷第2期
篇名 半導體晶圓廠設備機台維護保養預測之研究
作者 郭晉源、許棟樑
網址 http://www.iosh.gov.tw/Upload2/BookMP/200808/shp14_2_5.pdf