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| column | value |
|---|---|
| tf_hs_e_reason | 本案貨品參據所檢附相關資料，為「光罩缺陷檢測儀」，包含固態雷射頭、雷射承載系統(LSS)、影像擷取系統(IAS)、光罩裝載系統(RLS)、電子與機構次系統(EFS)等組件，用以檢測光罩上之缺陷，宜歸列貨品分類號列第9031.41.10.20-0號。 |
| TF_STANDARD_HS | 90314110200 |
| tno | 90314110 |
| sc | 20 |
| cd | 0 |
| TF_ENGLISH_COMMODITY | 光罩缺陷檢測儀(Reticle Defect Inspection Platform)Teron600系列 |
| TF_FACTOR_MATERIAL | 光罩缺陷檢測儀包含固態雷射頭、雷射承載系統(LSS)、影像擷取系統(IAS)、光罩裝載系統(RLS)、電子與機構次系統(EFS)等等組件，其中固態雷射頭包含固態晶體、光學系統及電子電路系統。 |
| TF_FUNCTION | KLA-Teron之光罩缺陷檢測儀600系列係用以檢測半導體製造中微影製程所使用之光罩上之缺陷，特別是用以檢測20幾奈米之邏輯電路元件及30幾奈米之半間距記憶體之製程上所使用光罩上之缺陷。KLA-Ttron之Tencor600系係使用尼康固態雷射NSI-193C為雷射頭。在操作上，雷射頭會發射波長193奈米之雷射波束以掃瞄光罩，據以檢測光罩上 |
| TF_ISSUE_DOCU_NO | 00CA0072 |
| TF_ISSUE_DATE | 20110809 |
| cnote | 供檢查半導體晶圓或裝置或供檢查製造半導體裝置所使用之光罩或網線之光學儀器及用具，以電氣操作者 |
| enote | Optical instruments and appliances, electricity powered for inspecting photomasks or reticles used in manufacturing semiconductor devices |