1. data.gov.tw
  2. 臺灣博碩士論文系統
  3. 59533506
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系統編號 102CYCU5428031
作者 詹益禎
論文名稱 BPSG薄膜特性分析研究與沉積製程優化
指導老師 溫武義
學位名稱 碩士
學校名稱 中原大學
系所名稱 電子工程研究所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/26850283650287322668