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系統編號 102NTHU5311069
作者 張浩新
論文名稱 CMOS-MEMS接觸式開關元件的設計與特性探討
指導老師 李昇憲
學位名稱 碩士
學校名稱 國立清華大學
系所名稱 動力機械工程學系
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/27459738646300217501