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系統編號 102NCU05489117
作者 謝秉勳
論文名稱 CMOS-MEMS電容式加速度計之設計與製作
指導老師 陳世叡
學位名稱 碩士
學校名稱 國立中央大學
系所名稱 機械工程學系
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/55333435298700641198