1. data.gov.tw
  2. 臺灣博碩士論文系統
  3. 59533611
column value
系統編號 102NTHU5795004
作者 張俊羿
論文名稱 CMOS-MEMS製程於運動感測器之開發與整合
指導老師 方維倫
學位名稱 博士
學校名稱 國立清華大學
系所名稱 奈米工程與微系統研究所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/97510794771562136761