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系統編號 102NTHU5795016
作者 廖宜仁
論文名稱 CMOS-MEMS雙電極式超聲波換能器之設計與特性探討
指導老師 李昇憲
學位名稱 碩士
學校名稱 國立清華大學
系所名稱 奈米工程與微系統研究所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/56190407442379018030