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系統編號 102NCTU5489058
作者 龔柏丞
論文名稱 MOCVD之氮化鎵/p型氮化鎵薄膜沉積製程化學反應場模擬分析
指導老師 鄭泗東
學位名稱 碩士
學校名稱 國立交通大學
系所名稱 機械工程系所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/29659844974196655330