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系統編號 102KSUT0489027
作者 許怡君
論文名稱 RF磁控濺鍍沈積多層CrN/SixNy薄膜機械性質之研究
指導老師 劉見成
學位名稱 碩士
學校名稱 崑山科技大學
系所名稱 機械工程研究所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/99314418717874794148