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| 系統編號 | 102NTHU5428017 |
| 作者 | 羅偉唐 |
| 論文名稱 | 三氯氧磷退火處理原子層沉積二氧化矽於碳化矽金氧半場效電晶體之可靠度研究 |
| 指導老師 | 黃智方 |
| 學位名稱 | 碩士 |
| 學校名稱 | 國立清華大學 |
| 系所名稱 | 電子工程研究所 |
| 畢業學年度 | 102 |
| 博碩士論文網址 | http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/30892295036519051257 |