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系統編號 102TTU05311018
作者 陳昱安
論文名稱 三維有機金屬化學氣相沉積垂直腔體噴氣頭最佳化設計
指導老師 吳俊瑩
學位名稱 碩士
學校名稱 大同大學
系所名稱 機械工程學系(所)
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/60040510808596482164