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系統編號 102KSUT0442015
作者 閻克敏
論文名稱 大氣電漿化學氣相沉積鍍製大面積粗糙化氧化矽薄膜
指導老師 張慎周
學位名稱 碩士
學校名稱 崑山科技大學
系所名稱 電機工程研究所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/84223423898331836792