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系統編號 102NCHU5159009
作者 吳丹筠
論文名稱 不同製程參數對以丙烷/氨氣製備熱化學氣相沉積碳薄膜性質之影響
指導老師 薛顯宗
學位名稱 碩士
學校名稱 中興大學
系所名稱 材料科學與工程學系所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/98915534933100894309