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系統編號 102TIT05657013
作者 何靖國
論文名稱 化學機械拋光研磨墊與鑽石修整器之研究
指導老師 蔡哲雄
學位名稱 博士
學校名稱 國立臺北科技大學
系所名稱 機電科技研究所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/17912309588899734184