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系統編號 102NTHU5159205
作者 蔡佳凌
論文名稱 反應式直流磁控濺鍍法製備 (Al,Cr,Nb,Si,B,C)100-xNx 高熵薄膜之研究
指導老師 葉均蔚
學位名稱 碩士
學校名稱 國立清華大學
系所名稱 材料科學工程學系
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/03528810707941720464