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系統編號 102NSYS5442100
作者 彭冠庭
論文名稱 以IDT/ZnO/AlN/Si3N4/Si 結構研製雙頻表面聲波元件
指導老師 陳英忠
學位名稱 碩士
學校名稱 國立中山大學
系所名稱 電機工程學系研究所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/23180458079444317141