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系統編號 | 102MIT00159008 |
作者 | 卓宥任 |
論文名稱 | 以TaN/TiN擴散阻障層厚度及退火時間調控TaN-(Ag,Cu)奈米複合薄膜之Ag與Cu析出量及其對耐磨與抗菌行為之研究 |
指導老師 | 謝章興 |
學位名稱 | 碩士 |
學校名稱 | 明志科技大學 |
系所名稱 | 材料工程系碩士班 |
畢業學年度 | 102 |
博碩士論文網址 | http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/21217746099066744100 |