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系統編號 102MIT00159008
作者 卓宥任
論文名稱 以TaN/TiN擴散阻障層厚度及退火時間調控TaN-(Ag,Cu)奈米複合薄膜之Ag與Cu析出量及其對耐磨與抗菌行為之研究
指導老師 謝章興
學位名稱 碩士
學校名稱 明志科技大學
系所名稱 材料工程系碩士班
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/21217746099066744100