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系統編號 102NCU05442116
作者 林柏融
論文名稱 以有機金屬化學蒸氣沉積法成長氮化鋁薄膜及其材料特性研究
指導老師 綦振瀛
學位名稱 碩士
學校名稱 國立中央大學
系所名稱 電機工程學系
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/27696716402955407057