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系統編號 | 102NCTU5159048 |
作者 | 周宏宇 |
論文名稱 | 以低溫電漿輔助化學氣相沉積多層碳氮化矽/電漿聚合高分子水氣阻障膜 |
指導老師 | 呂志鵬 |
學位名稱 | 碩士 |
學校名稱 | 國立交通大學 |
系所名稱 | 材料科學與工程學系所 |
畢業學年度 | 102 |
博碩士論文網址 | http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/80287622968114814290 |