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系統編號 102NCTU5489087
作者 黃元德
論文名稱 以負型光阻SU-8開發雙面多重部份曝光製程技術
指導老師 徐文祥
學位名稱 博士
學校名稱 國立交通大學
系所名稱 機械工程系所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/97622710631465389447