1. data.gov.tw
  2. 臺灣博碩士論文系統
  3. 59542745
column value
系統編號 102SJSM0689007
作者 石介文
論文名稱 以原子層沈積法製備氧化鋅摻鋁薄膜之研究
指導老師 張瑞慶
學位名稱 碩士
學校名稱 聖約翰科技大學
系所名稱 自動化及機電整合研究所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/33088030420123209766