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系統編號 | 102CYCU5428041 |
作者 | 張佳琳 |
論文名稱 | 以射頻磁控濺鍍法沉積IGZO薄膜之特性研究 |
指導老師 | 高慧玲 |
學位名稱 | 碩士 |
學校名稱 | 中原大學 |
系所名稱 | 電子工程研究所 |
畢業學年度 | 102 |
博碩士論文網址 | http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/39908200765711787216 |