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系統編號 102CYCU5428041
作者 張佳琳
論文名稱 以射頻磁控濺鍍法沉積IGZO薄膜之特性研究
指導老師 高慧玲
學位名稱 碩士
學校名稱 中原大學
系所名稱 電子工程研究所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/39908200765711787216