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系統編號 102NCHU5759002
作者 林彥廷
論文名稱 以氧化亞氮為前驅物之氧化鋅及鎵摻雜氧化鋅薄膜的原子層沉積研究
指導老師 龔志榮
學位名稱 碩士
學校名稱 中興大學
系所名稱 奈米科學研究所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/09299275763166377670