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系統編號 102NTU05063019
作者 李庭逸
論文名稱 以純氧化矽沸石奈米顆粒製備低介電膜及抗腐蝕膜之研究
指導老師 萬本儒
學位名稱 博士
學校名稱 臺灣大學
系所名稱 化學工程學研究所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/22329338356874046999