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系統編號 102MDU00159004
作者 張晏碩
論文名稱 以陰極電弧沉積法製備厚CrAlSiN薄膜之研究
指導老師 何偉友
學位名稱 碩士
學校名稱 明道大學
系所名稱 材料科學與工程學系碩士班
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/42595026421005988992