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系統編號 | 102MDU00159004 |
作者 | 張晏碩 |
論文名稱 | 以陰極電弧沉積法製備厚CrAlSiN薄膜之研究 |
指導老師 | 何偉友 |
學位名稱 | 碩士 |
學校名稱 | 明道大學 |
系所名稱 | 材料科學與工程學系碩士班 |
畢業學年度 | 102 |
博碩士論文網址 | http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/42595026421005988992 |