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系統編號 102NTU05428086
作者 林星佑
論文名稱 以硝酸氧化備製中堆疊高介電常數氧化鉿閘極介電層之金氧半電容元件特性研究
指導老師 胡振國
學位名稱 碩士
學校名稱 臺灣大學
系所名稱 電子工程學研究所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/76445002630825643333