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系統編號 102CHPI5489010
作者 陳建迪
論文名稱 以電子束對去除多晶矽中雜質元素的研究
指導老師 馬廣仁
學位名稱 碩士
學校名稱 中華大學
系所名稱 機械工程學系碩士班
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/07497302079102018819