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系統編號 102NTU05428068
作者 馬群哲
論文名稱 以電漿增強式化學氣相沈積法成長奈米矽晶及其特性研究
指導老師 毛明華
學位名稱 碩士
學校名稱 臺灣大學
系所名稱 電子工程學研究所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/74450445694580823285