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系統編號 102NCU05614018
作者 黃聖傑
論文名稱 以磁控電漿輔助化學氣相沉積法製鍍有機矽阻障層之研究
指導老師 陳彥宏,郭倩丞
學位名稱 碩士
學校名稱 國立中央大學
系所名稱 光電科學與工程學系
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/52684562917925843602