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系統編號 102TIT05703032
作者 楊子毅
論文名稱 以數值模擬研究具風機濾網機組與導流管的300厘米晶圓盒載卸模組對晶圓載運盒開門過程之流場型態
指導老師 施陽正
學位名稱 碩士
學校名稱 國立臺北科技大學
系所名稱 能源與冷凍空調工程系碩士班
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/66000442293947059809