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系統編號 102CYCU5428039
作者 張書瀚
論文名稱 以濺鍍法沉積矽摻雜氮化鋁薄膜之電特性研究
指導老師 高慧玲
學位名稱 碩士
學校名稱 中原大學
系所名稱 電子工程研究所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/89847370953081930317