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| 系統編號 | 102NCTU5428159 |
| 作者 | 孫石民 |
| 論文名稱 | 包含暫時接合及自底向上矽穿孔成型之前瞻三維積體電路製程整合及技術研究 |
| 指導老師 | 陳冠能 |
| 學位名稱 | 碩士 |
| 學校名稱 | 國立交通大學 |
| 系所名稱 | 電子工程學系 電子研究所 |
| 畢業學年度 | 102 |
| 博碩士論文網址 | http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/11184376774711597790 |