1. data.gov.tw
  2. 臺灣博碩士論文系統
  3. 59544524
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系統編號 102NKIM0428010
作者 黃文忠
論文名稱 半導體化學氣相沉積直立式爐管 氮化矽微粒缺陷之探討
指導老師 葉旻彥
學位名稱 碩士
學校名稱 國立高雄海洋科技大學
系所名稱 微電子工程研究所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/80898282154890431741