1. data.gov.tw
  2. 臺灣博碩士論文系統
  3. 59544565
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系統編號 102KUAS0393056
作者 黃世偉
論文名稱 半導體蝕刻製程中晶周缺陷及電弧現象改善之研究
指導老師 蘇德仁
學位名稱 碩士
學校名稱 國立高雄應用科技大學
系所名稱 電子工程系碩士班
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/15501572880936654298