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系統編號 102NCTU5428156
作者 陳巨峰
論文名稱 用混合氮氧氣體及電漿氟化與氮化處理技術對矽鍺奈米線於生物感測試劑之靈敏度研究與特性
指導老師 張國明,賴瓊惠
學位名稱 博士
學校名稱 國立交通大學
系所名稱 電子工程學系 電子研究所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/74317004948707978691