1. data.gov.tw
  2. 臺灣博碩士論文系統
  3. 59547789
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系統編號 102ISU05609006
作者 王辰譯
論文名稱 皮秒雷射應用在三維晶片矽導孔及Low-k晶圓切割研究
指導老師 徐祥禎
學位名稱 碩士
學校名稱 義守大學
系所名稱 機械與自動化工程學系
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/55418887246206412183