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| 系統編號 | 102NTHU5795012 |
| 作者 | 張恩獎 |
| 論文名稱 | 自動化雷射干涉微影設備之開發與其製作之週期性奈米結構的應用 |
| 指導老師 | 傅建中 |
| 學位名稱 | 博士 |
| 學校名稱 | 國立清華大學 |
| 系所名稱 | 奈米工程與微系統研究所 |
| 畢業學年度 | 102 |
| 博碩士論文網址 | http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/00426905786613680639 |