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系統編號 102NCKU5614021
作者 王敏歡
論文名稱 低成本電子束微影奈米製程的開發與應用
指導老師 張允崇
學位名稱 碩士
學校名稱 國立成功大學
系所名稱 光電科學與工程學系
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/98223192905005790003