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系統編號 102NTHU5198224
作者 王哲夫
論文名稱 低溫電漿輔助化學氣相沉積法成長富矽碳化矽薄膜之薄膜太陽能電池
指導老師 潘犀靈
學位名稱 碩士
學校名稱 國立清華大學
系所名稱 物理系
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/67546713414665952632