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系統編號 | 102NTHU5198224 |
作者 | 王哲夫 |
論文名稱 | 低溫電漿輔助化學氣相沉積法成長富矽碳化矽薄膜之薄膜太陽能電池 |
指導老師 | 潘犀靈 |
學位名稱 | 碩士 |
學校名稱 | 國立清華大學 |
系所名稱 | 物理系 |
畢業學年度 | 102 |
博碩士論文網址 | http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/67546713414665952632 |