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系統編號 102NCTU5489019
作者 吳承懋
論文名稱 利用CMOS-MEMS與化鎳浸金技術製作MEMS邏輯閘
指導老師 陳宗麟
學位名稱 碩士
學校名稱 國立交通大學
系所名稱 機械工程系所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/39180745117798369557