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系統編號 102NCKU5428044
作者 陳柏穎
論文名稱 利用化學氣相沉積法製備具高熱傳導及高電阻之三層UNCD-MCD-UNCD鑽石薄膜結構
指導老師 曾永華
學位名稱 碩士
學校名稱 國立成功大學
系所名稱 微電子工程研究所
畢業學年度 102
博碩士論文網址 http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/85180565245723915985