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| 系統編號 | 102NTHU5159035 |
| 作者 | 鄭家康 |
| 論文名稱 | 利用金屬輔助化學蝕刻配合田口數值分析製造高深寬比之矽微米洞狀結構 |
| 指導老師 | 嚴大任 |
| 學位名稱 | 碩士 |
| 學校名稱 | 國立清華大學 |
| 系所名稱 | 材料科學工程學系 |
| 畢業學年度 | 102 |
| 博碩士論文網址 | http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/03252559730315166401 |